3-6”单晶硅片
我们拥有先进的多线切割机、双面研磨机、硅片倒角机、全自动超声清洗机和无接触硅片自动分选机等硅片加工和质量检测设备及工艺，按照ISO9001:2015质量管理体系和ISO140001：2015环境管理体系的要求严抓产品质量关，为半导体芯片制造商提供各类规格的高品质单晶硅片。
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规格 |
电阻率Ω·CM |
厚度μm |
晶向 |
寿命μs |
外径mm |
掺杂剂 |
形态 |
电阻率径向不均匀性 |
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线切片 |
研磨片 |
倒角片 |
定位片 |
||||||||
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3” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
76.2±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
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4” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
101.6±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
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5” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
125±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
