3-6”单晶硅棒
我们采用磁场拉晶及连续加料工艺，提升晶棒电阻率径向均匀度及阻值对档率，单晶硅棒质量品质高于行业标准，可生产电阻率范围0.001-55Ω·cm的轻掺及重掺单晶硅棒，具有行业领先的磁场直拉单晶生长技术。
|
规格 |
电阻率Ω·CM |
长度mm |
晶向 |
少子寿命μs |
外径mm |
掺杂剂 |
形态 |
径向电阻率变化 |
氧含量（atoms/cm³） |
碳含量（atoms/cm³） |
|
|
抛光棒 |
定位棒 |
||||||||||
|
3” |
0.001-55 |
根据客户要求 |
<111> |
＞100 |
76.2±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
|
4” |
0.001-55 |
根据客户要求 |
<111> |
＞100 |
101.6±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
|
5” |
0.001-55 |
根据客户要求 |
<111> |
＞100 |
125±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
